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脉冲偏压电源
脉冲偏压电源

偏压电源(Bias power supply )是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件,在镀膜工艺流程中为工件提供负(或正)偏压。

作用

1)提高真空等离子体内带电粒子的能量,轰击清洗所镀工件表面,使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层,从而提高后续沉积膜层的结合力。

2)提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量,提高膜层与工件基体结合力。

3)靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则,调整膜层颜色。

4)克服偏压电源工作于真空等离子体环境中,由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件。

偏压电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现,调压电路具有1%的稳率。高频变换电路产生10-90%脉冲电压。由于电源的输出电压与脉冲宽度独立调整,在满足工艺所需电压同时,通过改变脉冲宽度来控工件温升。电源适用于各类工具镀膜及装饰镀膜 。

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